Litografimaskine Mask Aligner fotoætsningsmaskine
Produktintroduktion
Eksponeringslyskilden anvender importeret UV LED og lyskildeformningsmodul med lille varme og god lyskildestabilitet.
Den omvendte belysningsstruktur har en god varmeafledningseffekt og lyskildenær effekt, og udskiftning og vedligeholdelse af kviksølvlampen er enkel og praktisk. Udstyret med binokulært dobbeltfeltsmikroskop med høj forstørrelse og 21 tommer widescreen LCD, kan det visuelt justeres gennem
okular eller CCD + display, med høj justeringsnøjagtighed, intuitiv proces og bekvem betjening.
Funktioner
Med fragmentbehandlingsfunktion
Udjævning af kontakttryk sikrer repeterbarhed gennem sensor
Justeringsgabet og eksponeringsgabet kan indstilles digitalt
Ved hjælp af indlejret computer + touch screen betjening, enkel og bekvem, smuk og generøs
Træk type op og ned plade, enkel og praktisk
Støt vakuumkontakteksponering, hård kontakteksponering, trykkontakteksponering og nærhedseksponering
Med nano imprint interface funktion
Enkeltlagseksponering med én tast, høj grad af automatisering
Denne maskine har god pålidelighed og praktisk demonstration, især velegnet til undervisning, videnskabelig forskning og fabrikker i gymnasier og universiteter
Flere detaljer
Specifikation
1. Eksponeringsområde: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Eksponeringsbølgelængde: 365nm;
3. Opløsning: ≤ 1m;
4. Justeringsnøjagtighed: 0,8m;
5. Bevægelsesområdet for scanningsbordet i justeringssystemet skal mindst opfylde: Y: 10 mm;
6. Justeringssystemets venstre og højre lysrør kan bevæge sig separat i X-, y- og Z-retninger, X-retning: ± 5 mm, Y-retning: ± 5 mm og Z-retning: ± 5 mm;
7. Maskestørrelse: 2,5 tommer, 3 tommer, 4 tommer, 5 tommer;
8. Prøvestørrelse: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Velegnet til prøvetykkelse: 0,5-6 mm og kan højst understøtte 20 mm prøvestykker (tilpasset);
10. Eksponeringstilstand: timing (nedtællingstilstand);
11. Uensartet belysning: ＜ 2,5%;
12. Dobbeltfelt CCD-justeringsmikroskop: zoomobjektiv (1-5 gange) + mikroskopobjektiv;
13. Maskens bevægelsesslag i forhold til prøven skal mindst opfylde: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Eksponeringsenergitæthed: > 30MW / cm2,
15. ★ Justeringspositionen og eksponeringspositionen fungerer i to stationer, og de to stationers servomotor skifter automatisk;
16. Udjævning af kontakttryk sikrer repeterbarhed gennem sensor;
17. ★ Justeringsgabet og eksponeringsgabet kan indstilles digitalt;
18. ★ Det har nano-imprint-grænseflade og nærhedsgrænseflade;
19. ★ Berøringsskærm betjening;
20. Samlet dimension: Cirka 1400 mm (længde) 900 mm (bredde) 1500 mm (højde).
